1. Чистота
Чистотата на целта за разпръскване трябва да бъде поне 99,95 процента. Колкото по-висока е чистотата, толкова по-добра е производителността на разпръснатия филм.
2. Плътност
Относителната плътност на целта за разпръскване трябва да бъде повече от 98 процента. Целта с по-висока плътност може да намали разпръскването на филмови частици по време на процеса на нанасяне на покритие, като по този начин подобрява качеството на филма.
3. Зърнеста структура
Молибден целта за разпрашаване е поликристална структура. По време на разпръскване целевите атоми лесно се разпръскват по най-близко подредената посока на шестоъгълните атоми. За да се постигне максимална скорост на разпръскване, е необходимо да се увеличи скоростта на разпръскване чрез промяна на кристалната структура на целта.
4. Размер на зърното
Размерът на зърното може да варира от микрони до милиметри. Скоростта на разпръскване на мишената с фино зърно е по-бърза от тази на мишената с едро зърно, а разпределението на дебелината на отложения филм също е относително равномерно за мишената с малка разлика в размера на зърното.
5. Обвързване на мишена и шаси
Преди разпръскване мишената трябва да бъде свързана към шасито от безкислородна мед, за да се гарантира, че топлопроводимостта между мишената и шасито е добра. След свързването трябва да се извърши ултразвукова проверка, за да се гарантира, че несвързващата площ на двете е по-малка от 2 процента, така че да отговаря на изискванията за разпръскване с висока мощност.
