Мишена за разпръскване от титандоставка до клиента на 13 дек
Име на продукта Титанова кръгла мишена
Клас Gr1 Gr2 Gr3 Gr5 (Ti6al4v)
Стандартна мишена от титан: технически условия: в съответствие с ASTM B34897
Мишена от титаниева пластина: технически условия: в съответствие с ASTM B265-93
Спецификация: обща спецификация: 60/65/95/100 * 30/32/40/45 mm
Мишена за плоча: (8-25 mm * (150-300) mm * (1000-2500) mm
Тръбна мишена: 70 мм * 7 мм/10 мм
Повърхностното полиране може да бъде с резба
Характеристики: Лек, отлична устойчивост на корозия, устойчивост на корозия, висока якост, добра устойчивост на топлина, добра пластичност, нетоксичен, немагнитен, отлична механична якост и др.
Състояние Състояние на отгряване (M) Състояние на гореща работа (R) Състояние на студена работа (Y) (отгряване, ултразвукова дефектоскопия)
Приложения: Използва се в устройства за разделяне на полупроводници, дисплеи с плосък панел, филми за електроди за съхранение, разпрашващи покрития, повърхностни покрития на детайли, индустрия за стъклени покрития
Чистотата е един от основните показатели за ефективност на титаниеви мишени, тъй като чистотата на мишената има голямо влияние върху ефективността на филма. В практическите приложения обаче изискванията за чистота на целта също са различни. Силициевите чипове сега варират по размер от 6 инча до 8 инча до 12 инча, а ширината на кабелите е намаляла от 0.5 um до 0.25 um, 0.18 um или дори 0.13 хм, благодарение на бързия напредък на индустрията на микроелектрониката. Преди това 99,995 процента от целевата чистота може да отговори на изискванията на процеса на 0.35 um IC, докато 99,999 процента или дори 99,9999 процента от целевата чистота са необходими за подготовката на 0.18 um линии .
Основните източници на замърсяване за отложените филми са примеси в целевото твърдо вещество и кислород и водни пари в порите. Различните целеви материали имат различни изисквания за различно съдържание на примеси. Например мишените от чист алуминий и алуминиеви сплави, използвани в полупроводниковата индустрия, имат специални изисквания за съдържание на алкални метали и съдържание на радиоактивни елементи.
Обикновено се изисква мишената да има висока плътност, за да се намали порьозността в целевото твърдо вещество и да се подобри работата на напръскания филм. Електрическите и оптичните характеристики на филма също се влияят от плътността на целта в допълнение към скоростта на разпръскване. Филмът се представя по-добре, колкото по-голяма е плътността на целта. Освен това целта може да оцелее по-добре на топлинния стрес по време на процеса на разпръскване, като стане по-плътна и по-здрава. Плътността също е един от ключовите показатели за ефективност на целта.
